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レンズ単体とモジュールの双方の検査に対応！異物や傷、クラック等の検査も可能
『レンズ外観検査装置』は、高速高解像度カメラと照明系を工夫して 小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で行います。 異物や傷、クラック等の検査も可能。手動でサンプルを搭載し、検査は 自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより 圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。 また、インラインにも容易に対応致します。 【特長】 ■レンズ単体とモジュールの双方の検査に対応 ■異物や傷、クラック等の検査も可能 ■高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現 ■インラインにも容易に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全自動で行います
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハーサイズは4インチが基本、装置カスタマイズにより 12インチ迄、選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インラインにも対応！目視検査では不可能であった定量化や見逃し欠陥を確実に検査！
『シリンダー内面外観装置』は、シリンダーなどの円筒物の内面を 自動検査する装置です。 スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 今までの検査時間の1/10程度で検査。検査はカメラがXY移動します。 画像記録のほか、任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を 全自動で行います。 【特長】 ■スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■目視検査では不可能であった定量化や見逃し欠陥を確実に検査 ■今までの検査時間の1/10程度 ■検査はカメラがXY移動 ■ローダー、アンローダー付きのインラインにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
