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外観検査装置(パワー半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

外観検査装置の製品一覧

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パワーモジュール用ベアチップ外観検査装置『CIシリーズ』

実装前にチップの全数外観検査を行うことで後工程のロス低減&歩留まり向上!モジュール組立ての受入れ検査、スクリーニングに最適!

『CIシリーズ』は、チップトレイに収納された個片ベアチップの外観品質検査を行い、 良品/不良品に分類する装置です。 検出事例・・・エッジクラック、欠け、傷、異物付着、変色等 標準搭載されたマルチアングル照明を使い、製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定可能。 半導体ベアチップ製造メーカ様・受託メーカ様の出荷前検査に適した装置です。 対象製品例)パワーデバイス、IC、イメージセンサ、各種センサ用ウエーハチップ <CI8000> ■全6面検査モデル(表面、裏面、側面の全6面検査) ■最速 8000CPHの高処理能力 ■高精細な検査を実現するステージを搭載 <CI200i> ■表裏面検査モデル ■表面検査をイントレイで実施することで、省スペース化 ■製品への接触をミニマム化し、ダメージレス ■高精細の検査ステージを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 半導体検査/試験装置

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ウエーハチップ自動外観検査装置『CIシリーズ』

ダイシング後ベアチップの個片外観検査装置 各種用途に合わせてラインアップ

『CIシリーズ』はベアチップ個片をトレイtoトレイで搬送し、高精細な外観検査を行い良品/不良品に分類する装置です。 標準搭載されたマルチアングル照明を使い、製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定可能。 半導体ベアチップ製造メーカ様・受託メーカ様の出荷前検査に最適な装置です。 対象製品例)パワーデバイス、IC、イメージセンサ、各種センサ用ウエーハチップ <CI8000> ■全6面検査モデル(表面、裏面、側面の全6面検査) ■最速 8000CPHの高処理能力 ■高精細な検査を実現するステージを搭載 <CI200i> ■表裏面検査モデル ■表面検査をイントレイで実施することで、省スペース化 ■製品への接触をミニマム化し、ダメージレス ■高精細の検査ステージを搭載

  • 外観検査装置

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ウエハ外観検査装置 ※検査内容に合わせた機能の選択が可能!

検査内容に合わせた機能の選択、豊富なオプション機能による高精度検査が可能なウエハ外観検査装置

当社が取り扱っている『ウエハ外観検査装置』について ご紹介いたします。 ウエハ工程で発生する外観欠陥を高速かつ高精度に検査可能。 検査対象はLSI、LD、Di、LED、パワー半導体、化合物半導体、MEMS。 検査例はカケ・ワレ、クラック、スクラッチ、パターン異常、異物、 塗布不良、ズレです。 【特長】 ■検査内容に合わせた機能の選択が可能 ・ミクロ検査、マクロ検査 ・カラー検査、モノクロ検査 ・エリアカメラ、ラインカメラ ・表面検査、表裏面検査 ■豊富なオプション機能による高精度検査が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 外観検査装置

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