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ギラツキ や 色ムラ など色々な評価が可能！光学フィルムの定量評価をご紹介
光学フィルムの定量評価についてご紹介します。 「ProMetric」が1台あれば、 ギラツキ や キズ・欠陥 、 色ムラ など色々な評価ができます。 AGフィルムの目視評価を業界レベルの指標で数値化し、 気泡や貼合わせムラを特殊光源で見える化し、定量化。 また、コノスコープレンズをつけると透過視野角も測定可能です。 【定量評価（抜粋）】 ■ギラツキ ■キズ・欠陥 ■干渉縞 ■鮮明度 ■透過率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
EBSDにより焼入れ組織の定量評価が可能です。
マルテンサイト と オーステナイトでは、結晶構造が異なるため、EBSD を用いて相分布の評価及び、残留オーステナイトの面積率の定量評価が出来ます。また、マルテンサイト と オーステナイトの間には特定の結晶方位関係があります。したがって、マルテンサイトの 結晶方位測定結果から オーステナイトを再構築することで、旧オーステナイト粒径を測定出来ます。 この手法はエッチング困難な材料に対しても有効な手法です。
SIMS：二次イオン質量分析法
SIMSによる半導体素材SiGeの不純物の定量・組成評価では、分析時に下記を考慮する必要があります。 ●Ge濃度に応じた適切な定量補正を行わないと不純物定量値は本来の値に比べて50%以上異なることがある。定量評価を行うためには各組成に応じた標準試料が必要。 ●SiとSiGeではスパッタリングレートが異なる事が知られている。組成が深さごとに異なる試料においては、深さごとにスパッタリングレートが変化する。 MSTでは、標準試料の整備により高精度な組成分析が可能です。また、検量線を用いることでSiGe各組成における不純物分析およびスパッタリングレート補正が可能です。
TOF-SIMS、D-SIMS：二次イオン質量分析法
半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。 MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-SIMS)で深さ方向へ定量するという、デバイス中の不純物評価が可能です。 本件では、無アルカリガラス中の金属不純物を測定した事例を紹介します。
