実験スパッタ装置×神港精機株式会社 - 企業1社の製品一覧

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現　サンプルテスト＆装置見学対応中

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーするシンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種のプロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を行っています。【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応 ■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで　プロセス開発をサポート ■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。