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基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機
『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量 ■ベーキング温度250℃に耐える設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、 お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化 ■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34 CF70を規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量 ■回転ロック機構付 ■開度が任意に設定可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機
『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた 磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて お選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 【特長】 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能 ■オプションで回転防止機構もご用意 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機
『磁気結合式回転導入機（MFR）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入機の他にも、直進回転導入機をご用意しているので、 用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。 【特長】 ■真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用 ■ロストモーションが少ない設計 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用できる など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
