コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、 お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化 ■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■ILC34-10 ■ILC34-15 ■ILC34-20 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness