コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34,CF70を規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量 ■回転ロック機構付 ■開度が任意に設定可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■IRC-34 ■IRC-70 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness