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サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器
『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または 機械内部で使用できます。 【特長】 ■目的の公差内の加工精度を保証 ■サイクルタイムを短縮 ■コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ■機械的な変動に対する補正 ■測定結果の履歴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヌル光学系を使わずに高精度かつスピーディに非球面を測定するスティッチング干渉計
サブアパーチャーで被検面各部を最適な条件で測定し 各部の測定結果をつなぎ合わせて被検面全体の表面形状を算定します. 従来のフィゾー干渉計と比べて より広範な形状を高精度に測定することが可能になります. [製品ラインナップ] 1. ASI(Q) ・ 300mmΦまでの平面 球面 非球面の形状が測定できます. （より大口径への対応も可能） ・ 90°のスロープ（凸凹の完全半球）でも測定できます. ・ 1000λの非球面でも測定が可能です. ・ 高い測定精度 高い横分解能が得られます. 2. QIS干渉計 ・ 高いスロープ測定能力 スピーディに高精度が得られます. ・ 広いフォーカスレンジで 小Rの被検面でも測定可能です. ・ MRFにおけるスポット測定能力が飛躍的に向上します.
