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精度に対する絶対的な信頼でLCDトータルピッチ測長機として実績を蓄積！
『SMICシリーズ』は、グラナイト製石定盤、高精度セラミックエア スライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる 高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーン チャンバーなど、高精度測定を実現するあらゆる技術を駆使した 精密自動2次元座標測定機です。 LCD、有機ELからフォトマスク、光コネクター、TAB、MEMS等の 精密寸法測定にも、その実力を発揮します。 【特長】 ■高度な精度保証体系 ■高精度XYステージ駆動 ■高分解性能光学顕微鏡とLED照明光源(オプション) ■ファイバー式レーザー干渉計 ■テーブル平面度調整機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
白色干渉顕微鏡搭載！測定から観察、解析まで幅広い用途でご使用いただけます
『OPTIFiS IS-R400』は、画像処理2次元寸法測定機に白色干渉方式の 3次元測定機能を搭載した卓上ハイブリット自動測定機です。 グレースケール画像処理により、カメラのピクセルサイズ以下まで輝度情報を 分解してパターンのエッジを検出し、最小1μmの線幅測定に対応。 白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立させた表面形状、 高さ（段差）、粗さ測定が可能です。また、取得した3Dデータを基にした 各種解析機能を豊富に揃え、測定から観察、解析まで幅広い用途でご使用 いただけます。 【特長】 ■高精度XYステージによる精密座標測定 ■画像処理によるμmレベルの微小寸法測定 ■白色干渉によるnm分解能高さ測定・表面形状解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
