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形状測定器(非接触) - 企業3社の製品一覧

製品一覧

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平面形状測定装置『OptoFlat』

誰でも使える現場向きの使いやすさと、裏面反射キャンセルなどの高機能を両立させ、更にコストパフォーマンスにも優れた干渉計です。

『OptoFlat』干渉計は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を裏面の影響を受けることなく簡単に測定することが可能です。LED光源のため電源ONで即時に測定可能な上、アライメント補助機構により、初めて干渉計を使う方でも操作が容易で即戦力として活躍します。 光学部品だけでなく、金属・セラミックス部品や金型の平面部など、幅広い用途でお使い頂けます。 ■裏面反射の低減(裏面キャンセル厚さ0.3mm以上) レーザー干渉計では、平行平面サンプルの測定において、表面の反射波面に裏面の反射波面が影響して測定が困難なケースがありますが、低コヒーレンス干渉原理では、短い領域でコヒーレンスを制限することにより、裏面からの干渉の抑制が可能になり、表面のみからの干渉縞が生成されます。 ■現場向きの使いやすさ アライメント補助機構があるため、初めて使用する方でも容易に測定ができます。また光量の自動調節により、反射率の大きく異なるワークでも基準板の交換の必要がありません。更にマウスを触らなくても非接触センサーで解析スタートができるため、操作による振動の心配も不要です。

  • 分析機器・装置
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  • 基板検査装置

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光学式3D表面粗さ・形状測定機『VIKING(バイキング)』

様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現

SOLARIUS VIKING(ソラリウス・バイキング)は、小型で軽量な光学式3D表面粗さ・形状測定機です。 センサーを使用した測定により、顕微鏡とは異なる測定アプローチが可能です。 ウェーハ、リチウムイオン電池セパレーターなど、表面が薄く柔らかで傷がつきやすい素材の表面粗さ測定や厚さ測定に課題をお持ちのお客様にも好適です。 先端センサー技術を使用し、3D表面トポグラフィーマップおよび国際規格に準拠した測定結果を迅速に提供します。 また、コンパクトな設計で省スペースを実現。容易なセットアップと高い操作性により、3D光学検査プロセスをすばやく設定でき、作業者の負担軽減に寄与。短時間でより多くの測定が可能になります。 【このような課題をお持ちのお客様に好適です】 - 目視作業やマニュアル測定を改善したい - 誰にでも使いやすい機器がほしい - 機械的位置合わせ(傾斜またはずれ) - 測定の詳細把握やデータ管理をしたい - カスタマイズが必要な特別なアプリケーションを探している *サンプル測定のご相談も承っております。お気軽にお問い合わせください。

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多彩色光3D光学プロファイラー 表面粗さ・形状測定機

スフェロクロマティックレンズを利用した「多彩色光センサー測定方式」

白色光を波長ごとに分割。「垂直焦点」で固有の測定スケールに反映させることができます。 ◎歪み・湾曲も実測 ◎広い面積を高速で処理 ◎リフォーカスなし ◎鮮明画像 ◎サンプル前処理なし ◎どんな色でも測定可 ▶非接触測定 ▶最大垂直解像度=1nm ▶最大表面角度=87° ▶データステッチなし

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