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ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・ 形状計測器です。 研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の 取れる計測結果を実現しました。 【特長】 ■計測時間短縮 ■低価格設定 ■防振台不要 ■非接触計測 ■広範囲計測可能 ■簡単操作 ■高分解能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
樹脂ペレットの計測が簡単・スピーディーにできる測定器
・プラスチックペレット等、粒状材料の形状を自動で計測できる機器です。 ・計測トレイにペレットを置くだけで、長さ・長径・短径・投影面積の計測が簡単にできます。 ・最大約100粒まで同時に計測可能です。 ・ペレットを整列させる必要がないので、配置に手間がかかりません。 ・計測開始から最短約15秒で、各項目のヒストグラム・計測結果画像・統計情報を表示します。 ・計測結果はCSV形式で作成され、外部メモリに保存可能です。 ・背景の色を変えることで、様々な色のペレットに対応できます。 ・輪郭が捉えづらい透明樹脂の計測も可能です。 ◆実機を使った計測テストや、デモ機の貸出も承っております。 詳しくは弊社ホームページの問合せ欄に直接お問い合わせください。 テクマン工業 WEBサイト https://tecman-kk.com/ テクマン工業 お問合せページ https://tecman-kk.com/contact/
従来の形状計測装置に比べ計算速度がUP！尚且つ高精度を実現した形状計測装置
全空間テーブル化手法は三角測量の計算をせず、座標と位相の関係を あらかじめ表にしておくため、高速・高精度に座標が求められます。 また、複数のカメラの合成が容易で ベルトコンベア上で動く物体の三次元形状計測が可能です。 これまでの『画像相関法』による形状計算に比べて 計算速度も速く、プロジェクタで格子を投影し 高精度・高速を実現いたしました。 【特長】 ■特許技術の全空間テーブル化手法を採用 ■計測専用プロジェクターと高精細8Mカメラの採用 ■10μmの高精度を100×50×5mmの全域で実現 ■広領域を高精度で計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
既存の製造装置への組み込みも可能ですので、お気軽にご相談ください！
『PX-08001-A』は、CGH(Computer Generated Hologram)を用いた 非接触型の精密自由曲面鏡の形状計測装置です。 CGH干渉計とハルトマン法の2つの原理を組み合わせることによって、 一般的な干渉計やシャックハルトマンセンサーでは不可能であった、 広い測定ダイナミックレンジ(0.01μm～100μm)での測定を実現。 例えば、大型光学素子の製造工程において徐々に面精度を詰めていく 場合において大きな威力を発揮します。 【仕様】 ■方式：1.CGH干渉計方式、2.ハルトマン法 ■測定波長：633nm ■射出ビーム径：φ50nm(0次光) ■測定ダイナミックレンジ：0.01μm〜100μm ■オプション：平面測定用CGH、曲面測定用CGH ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
