ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・ 形状計測器です。 研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の 取れる計測結果を実現しました。 【特長】 ■計測時間短縮 ■低価格設定 ■防振台不要 ■非接触計測 ■広範囲計測可能 ■簡単操作 ■高分解能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品仕様】 ■計測方式：光ヘテロダイン干渉計測 ■高さ分解能：0.1nm ■基準高さ測定範囲：0.5～300nm ■標準移動量：X軸25mm/Y軸25mm ■光源：赤色レーザー（633nm） ■対物レンズ：倍率20x、NAO.4 ■本体外形寸法：W313×D614×H428 ■本体重量：約27kg ■ソフトウェア：LabVIEW ■クランプ治具：導電性PET 180×180mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
オプションにより変動しますので、お気軽にお問合せ下さい。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウエハーの検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
“お客様が求める商品”をテーマに設計開発段階から製造までのクリエイティブなシステム化を実現し、さらに特殊品のパイオニアとして小回りの利く製造に取り組んでいます。 一方、海外向け輸出にも幅広く展開しアメリカ、ドイツなどへの販売にも積極的に力を入れております。 今後、益々多様化する技術を先取りし、レーザー応用周辺機器の商品開発に取り組み S（スピード）Q（クオリティ）C（コスト）の三つを全面に、リーズナブルな商品を提供してまいります。