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成膜コントローラ×株式会社アルバック/ULVAC, Inc. - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G

低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック/ULVAC】

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ~ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度:5 ~ 40℃ 湿度:5 ~ 95% RH(結露なきこと) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他計測・記録・測定器
  • 膜厚計

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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック/ULVAC】

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ~ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度:5 ~ 40℃ 湿度:5 ~ 95% RH(結露なきこと) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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  • 膜厚計

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