成膜装置『Corial 200 Series』
用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置
当社の『Corial 200 Series』をご紹介いたします。 共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE ICP ICP+RIE ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる 研究開発向け装置。 ウエハサイズは50mm 100mm 150mm 200mmです。 【特長】 ■共通プラットフォームを用いる ■RIE ICP ICP+RIE ICP-CVD又はPECVD装置 ■研究開発向け ■ウエハサイズは50mm 100mm 150mm 200mm ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
