非接触厚さ測定技術 測定機
厚さの絶対値が瞬時に測定可能!0.1μmの測定精度を維持
【赤外光で厚さを計測】 赤外光は特定の物質の中を透過します。この性質を利用して特定の物質の厚さを非接触で計測する技術です。シリコンウェハー、サファイヤ、ガラスなどを非接触にて厚さ・形状を測定します。光干渉方式、変位計方式などニーズに合わせた測定機を提案・開発します。 【特長】 ■赤外光を通す物質であれば材質変形させることなく厚さ測定が可能 ■赤外光方式では絶対値を計測することが可能 ■測定距離は約1000mmまで任意に設定することが可能 ※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
- 企業:昭和電子工業株式会社
- 価格:応相談