バブラー
スーパーバブラー 先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！
【特徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で す。 ・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値 ±0.03MΩ・cmで制御が始まります。 ・最高使用圧力が0.5MPaのため、機種配置が自由に行えます。 ・使用水量が大きく変動してもすばやく設定値に収束します。 ・CO2溶解膜などの高価な消耗品は不要です。膜方式と異なり一切の CO2ガス排気と排水がありません。 ・過酸化水素（3％）による殺菌も出来るので、菌も繁殖せず安心です。
- 企業：日東機器ファインテック株式会社
- 価格：応相談
