先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！
【特徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で す。 ・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値 ±0.03MΩ・cmで制御が始まります。 ・最高使用圧力が0.5MPaのため、機種配置が自由に行えます。 ・使用水量が大きく変動してもすばやく設定値に収束します。 ・CO2溶解膜などの高価な消耗品は不要です。膜方式と異なり一切の CO2ガス排気と排水がありません。 ・過酸化水素（3％）による殺菌も出来るので、菌も繁殖せず安心です。
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基本情報
【仕様】 ・処理量：200～1,000L/h、200～2,000L/h、300～3,000L/h ・電気抵抗率制御範囲：0.16～1.7MΩ・cm、0.11～1.5MΩ・m、 0.13～1.9MΩ・m ・制御精度：Set resistivity±0.03MΩ・m ・最大入口水圧：0.5MPa ・最大CO2圧力：0.7MPa ・圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・純水接続口径：3/4”メスネジ ・電源：AC100-130V、AC220-240V、50/60Hz, 単相/single phase 50VA ・オプション：CO2ボンベ自動切換装置、シグナル表示灯、警報出力など
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企業情報
平成18年4月 日東機器株式会社より独立。 業界の高品質化のご要望に、より正確・迅速にお答えすべく未来に向けて 新たなスタートをきりました。 粉粒体処理機械や超純水装置を中心に各産業向けの機械・装置を取り扱っております。