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パイオクリン排ガス処理装置
【特長】 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの 組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。 ・ガス検知器などのオプションを取付けることにより、安全性を高めることが出来ます。 ・2筒式の場合は、カートリッジ交換時の装置ダウンタイムが低減出来ます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
燃焼式排ガス処理装置です
本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 【特長】 ・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。 ・最大処理流量500ℓ/min（4ポートまで対応可）の排ガスに対応可能です。 ・壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。 ・燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。 ・ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる 循環ポンプトラブルを防止します。 ・各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。 ・タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。 ・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。 ・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。 ・気液接触部での詰まりが少ない構造です。 ・吸着筒の自動交互運転により連続除害が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
