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豊富な実績とバリエーションを誇るウエハ・液晶搬送用ハンド
エッジクランプ式のWHA・WHFシリーズ、最大25枚を一括搬送できるバッチ型のWHBシリーズ、吸着式のWHK・LCHシリーズなど用途に合わせた多彩なバリエーションを展開しています。 お客様の仕様に合わせた設計・製作を行う特殊対応も可能で、ウエハ以外にもフォトマスクやPLP（Panel Level Package)搬送も対応いたします。 累計販売実績も豊富で、クリーンな環境での搬送作業を強力にサポートする製品群です。 【特徴】 ● 用途で選べる豊富なバリエーション（クランプ・バッチ・吸着式） ● 顧客仕様に合わせた柔軟な設計・製作および特殊対応 ● 半導体・液晶製造現場における豊富な導入実績 【用途・事例】 ● 半導体製造工程におけるウエハの搬送（枚葉・一括） ● 液晶ガラスや自動車用ガラスなどのパネル搬送 ● 洗浄工程などの特殊環境下でのワーク搬送
パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの登場！
半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。
軽量・高剛性！CFRP液晶パネル搬送ハンド
軽量・高剛性！CFRP液晶パネル搬送ハンド ＝＝＝＝＝ 特 徴 ＝＝＝＝＝ ◆軽量・高剛性(実績：330 Gpa品） ◆振動減衰性 ◆写真は第6世代用ダブルアームです ◆組立・調整を行いパッド面の平面度0.5mm以内 ◆センサー・電磁弁等組込みも実施 ＝＝＝＝＝ 製品物性 ＝＝＝＝＝ 引張ヤング率（アーム部） 26,000kgf/mm2 線膨張係数 0.1×10-6 /℃ 以下 密度（アーム部） 1.65g/cm3 重量上ハンド 54kg 重量下ハンド 32kg 平面度（パッド面） 0.5mm以内 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ▼詳しくは資料をご請求のうえご覧下さい。
【交換周期を長期化】樹脂成形品から「金属＋帯電防止PEEKコーティング」へ。ハンドの剛性と耐摩耗性を高め、メンテ工数を半減。
24時間連続稼働を前提とする半導体・電子部品の量産ラインにおいて、搬送ハンドの頻繁な交換・メンテナンスは、生産ライン全体を停滞させる大きなボトルネックです。 ■樹脂製ハンドの課題 ・従来の樹脂製ハンドは摩耗や消耗が早く、交換のたびに製造装置を完全に停止（ダウンタイムが発生）。 ・作業環境が「クリーンルーム内」であるため、作業員の厳格な入室手順や交換部品の事前清浄化（洗浄・脱ガス）処理が必須、多大な作業時間と人件費が浪費。 ■樹脂製から「金属＋PEEKコーティング」への切り替え そこで当社では「高剛性な金属（SUS等）製のハンド＋帯電防止PEEKコーティング（PEEKCOAT N04blk）の提案を行いました。 結果として、 ・芯材を金属にすることで部品自体の機械的強度が飛躍的に向上し、繰り返しの搬送負荷による変形や割れを防止。 ・表面のPEEK層が優れた耐摩耗性を発揮するため、樹脂製ハンドに比べて寿命が大幅に長期化。 ・クリーンルーム内でのメンテナンス工数および装置停止時間を劇的に削減し、工場の総合設備効率の向上にも貢献。
