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数時間で酸素に分解！施設内を自律搬送ロボットがオゾン除菌・脱臭します
『タクミクリン』は、新型コロナウィルスの不活化が確認されたCT値60 （1ppm×60min）のオゾンで除菌噴霧を行う自走型ロボットです。 日本国内における作業環境基準としてのオゾン許容濃度は0.1ppmと されていますが、オゾンは数時間で安定した酸素に戻ろうとする 性質を有しており、また反応後に有害な残留物を産生しません。 当製品は夜間や休業日などの無人環境下でも、自走噴霧が できるため、人体に影響を与えることなく除菌を行うことができます。 【特長】 ■人の多い場所での夜間除菌に適応 ■数時間で酸素に分解 ■自然由来のオゾンで人に優しい ■無人環境下でも自走噴霧を行うことが可能 ■人体に影響を与えることなく除菌ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ギヤ、ワイヤー等の特殊加工部品も、相当品を製作するなど可能な限り対応！
株式会社シィ・エィ・ティは、半導体製造工場で使用される 各種搬送ロボットのオーバーホール、修理業務のほか ロボットのコントローラーの修理を実施しております。 コントローラーがない場合でも、当社にてロボットの構成等や 各種計測器を使用してロボットの制御方法等を解析し、 コントローラーを製作いたします。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
切削液を微細化することにより、切削液の浸透性・親水性が向上し加工精度が安定！当製品導入により解決してきた課題解決事例集進呈中！
『リキッドカッター』は、特殊セラミックボールを通過させた液を ミキシング及び剪断することにより、液体を細分化できるクーラント液の ナノ化ミキサーです。 液体分子は細分化すると浸透圧が弱くなり、表面張力が低下するため、浸透性、親水性が向上。 また、カートリッジ構造となっており、両端をクランプで固定しているため、分解・清掃が簡単にできます。 【特長】 ■液体を細分化 ■表面張力が低下するため浸透性、親水性が向上 ■洗浄液や水(水道水・工業用水)でも使用できる ■動力は不要 ■メンテナンスが簡単 ※デモ機、テスト可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
【刃具の寿命向上・現場のコスト削減に】1.5倍～4倍の加工数が向上した実績有り！クーラント液ナノ化ミキサー※デモ機、テスト可能
『リキッドカッター』は、特殊セラミックボールを通過させた液を ミキシング及び剪断することにより、液体を細分化できるクーラント液の ナノ化ミキサーです。 液体分子は細分化すると浸透圧が弱くなり、表面張力が低下するため、浸透性、親水性が向上。 また、カートリッジ構造となっており、両端をクランプで固定しているため、分解・清掃が簡単にできます。 【特長】 ■液体を細分化 ■表面張力が低下するため浸透性、親水性が向上 ■洗浄液や水(水道水・工業用水)でも使用できる ■動力は不要 ■メンテナンスが簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【工作機械をご利用の皆様へ】配管の途中に入れるだけで取付簡単！刃具の寿命を向上させ、ランニングコスト削減に貢献！※デモ機あり
『リキッドカッター』は、特殊セラミックボールを通過させた液を ミキシング及び剪断することにより、液体を細分化できるクーラント液の ナノ化ミキサーです。 液体分子は細分化すると浸透圧が弱くなり、表面張力が低下するため、浸透性、親水性が向上。 また、カートリッジ構造となっており、両端をクランプで固定しているため、分解・清掃が簡単にできます。 【特長】 ■液体を細分化 ■表面張力が低下するため浸透性、親水性が向上 ■洗浄液や水(水道水・工業用水)でも使用できる ■動力は不要 ■メンテナンスが簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
