●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
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基本情報
○ロボット型式SCR3160CSN-300-CM ○被搬送物2, 3インチ, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着 ○機械構造形式円筒座標型制御軸3軸 ○モータタイプ全軸2相パルスモータ ○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 552.7mm340度300mm ○搬送速度(平均)アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 610mm/sec340度/sec250mm/sec ○搬送速度(最高)アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 1220mm/sec500度/sec320mm/sec ○分解能アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 10.0µm以下0.0015度2.0µm ○繰り返し精度±0.1mm以内 ○クリーン度ISOクラス2(駆動部排気時) ○ユーティリティ電源：DC24V±10% 15A 真空：-53kPa以上
価格帯
納期
用途／実績例
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
