ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
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基本情報
○被搬送物～100mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) ○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 225mm360度150mm ○搬送速度 （平均速度）アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 225mm/sec500度/sec200mm/sec ○搬送速度 （最高速度）アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 300mm/sec700度/sec300mm/sec ○ウェーハ保持方式真空吸着による保持 ○繰り返し精度±0.1mm以内 ○クリーン度ISOクラス2以下（駆動部排気時） ○質量ロボット本体 約15kg ○ユーティリティ電源電圧：DC24V±10% 真空：-53kPa以上
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
