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簡単操作、高精度！透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載！
『透明膜検査証明装置』は、透明ガラス上に形成された透明膜などの パターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる装置です。 臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ、 臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光りません。 また、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の 散乱表面反射を押さえ、透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げる ハレーション効果を上げています。 さらに、背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせる ことが可能です。 【特長】 ■照明装置を搭載 ■操作が簡単 ■高精度 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作、高精度。透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載
検査装置「透明膜検査証明装置」は、透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。臨界角よりガラス基板 の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げています。それにより背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現
検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４インチから８インチ迄、対応可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作、高速解析。フレキシブルにインライン装置構成の組上げが可能
検査装置「異物検査装置」は、カメラから取り込んだ画像を検査ソフトウェア（Ｉｐ－20）によって処理して、各種の解析ｗｐ高速で行うことができます。入力ソースとなるカメラ機種選択の自由度が大きいことが、本システムの大きな特長となっています。市販のＮＴＳＣ・デジタル出力のほとんどのカメラに対応していますから、ハイエンドの高機能装置からローコストの普及型まで、フレキシブルにインライン装置構成を組み上げることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
透明膜の線幅測定や外観検査に最適です！
『ITO膜外観検査装置』は、フィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や 外観検査を行う装置です。 特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、 飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。 フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察 することが可能です。 また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に 測定することができます。 ご要望により、検査範囲や測定精度のカスタマイズも可能ですので、 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■高速に検査可能 ■レビュー観察が可能 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
