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隠れた欠陥もクッキリ！黄色などの薄い色でも検出可能な不織布向け欠陥検査装置
メディア研究所の『不織布向け高速欠陥検査装置』は、メクレ、ショット、 風綿などでお困りの方に最適な、不織布向けの欠陥検査装置です。 多チャンネル光学系による欠陥の複数画像取得技術により、 複数光学系の一体化で、欠陥と地合のメリハリを強調します。 超高速カメラで、高速ラインにも対応するほか、黄色などの薄い色も 検出する技術で、高速性能を維持したままカラー検出が可能になります。 【特長】 ■複数光学系の一体化で、欠陥と地合のメリハリを強調 ■超高速カメラで、高速ラインにも対応 ■黄色などの薄い色も検出 ■黒などの色つき不織布にも効果的 ■地合に隠れた欠陥もくっきり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術！シリコンウェーハ専用装置
『RXWシリーズ』は、独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を 駆使した、シリコンウェーハ専用のエッジ欠陥検査装置です。 ウェーハ製造およびデバイス製造の各プロセスにおいて要求される エッジ近傍領域の多様な欠陥検査・寸法測定・自動選別の要求に応えます。 デバイス製造プロセス対応の「RXW-1200D」や、「RXW-1200F」などを ラインアップしています。 【搭載機能】 ＜RXW-1200D＞ ■ライセンサによる全周画像取得とADC機能 ■高感度検査を可能にする暗視野切換え機能 ■EBR後のボーダー測定機能 ■CIS/TSVプロセスでのエッジトリミング・貼合せ・シニング後の検査・測定 ■高倍率AFカラーカメラによるADR機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
