エッジ欠陥検査装置『RXWシリーズ』
独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術！シリコンウェーハ専用装置
『RXWシリーズ』は、独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を 駆使した、シリコンウェーハ専用のエッジ欠陥検査装置です。 ウェーハ製造およびデバイス製造の各プロセスにおいて要求される エッジ近傍領域の多様な欠陥検査・寸法測定・自動選別の要求に応えます。 デバイス製造プロセス対応の「RXW-1200D」や、「RXW-1200F」などを ラインアップしています。 【搭載機能】 ＜RXW-1200D＞ ■ライセンサによる全周画像取得とADC機能 ■高感度検査を可能にする暗視野切換え機能 ■EBR後のボーダー測定機能 ■CIS/TSVプロセスでのエッジトリミング・貼合せ・シニング後の検査・測定 ■高倍率AFカラーカメラによるADR機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
- 価格：応相談
