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EBAC（吸収電流）法による不良箇所の絞込み

「SEM像」や「吸収電流像（電流センス）」など！配線のオープン不良、高抵抗不良箇所を特定します

当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。『EBAC（吸収電流）法による不良箇所の絞込み』では、ナノプローバと高感度アンプを用いたEBAC法により配線のオープン不良、高抵抗不良箇所を特定します。吸収電流を電圧センスすることで、配線内の抵抗分圧に基づいたコントラストが得られるため、ビアチェーンなどのTEGで⾼抵抗不良箇所を検出することもできます。【EBAC法による解析事例】 ■SEM像 ■重ね合わせ画像 ■吸収電流像（電流センス） ■吸収電流像（電圧センス） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。