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浮上搬送装置 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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浮上搬送装置『エアベアリングバー』

多孔質カーボン使用で高効率!極薄ガラスのための高精度浮上搬送装置

『エアベアリングバー』は、0.1mm厚ガラス対応の精密浮上搬送装置です。 ノンコンタクトチャッキング技術が極薄ガラスの浮上搬送をアシスト。 極薄ガラスのたわみを解消し、乗り移りを可能にします。 また、たわんだガラスでも、矯正しつつ高精度に非接触で把持します。 【特長】 ■多孔質カーボン使用 ■高精度 ■省エネ ■安定した浮上特性 ■強い把持力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素
  • その他搬送機械

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次世代クリーン化技術!超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送!クリーンな搬送技術です!接触による汚染無し!エアーブローからの汚染リスク無し!

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率

  • その他半導体製造装置
  • 2次電池・バッテリー
  • その他搬送機械

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