次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置
超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触による汚染無し！エアーブローからの汚染リスク無し！
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率
- 企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
- 価格：応相談
