測定器『FLA-200』
ウエハフラットネス測定システム！
『FLA-200』は、非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。 ウエハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス の測定に対応 （ASTM準拠）しており、CSVファイルでのデータ出力も可能 です。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■2-D 3-Dマッピング表示対応のソフトウエア ■5mmφコア静電容量式プローブによる、高精度測定 ■12 000点スキャン/60秒以内の高速測定 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
- 企業：ナプソン株式会社
- 価格：応相談
