【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年09月17日~2025年10月14日
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射材料です。
溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純度アルミナ粉末の溶射では黒点の発生が従来問題となっていましたが、フジミでは溶射材中の異物に注目して黒点要因と考えられる異物を除去する特別な処理を粉末に施しておりますので、黒点発生を抑制した溶射皮膜(コーティング)が可能となります。 【用途例】 AWは耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性を活かし、耐摩耗、絶縁部品などに使用されています。 AHPは半導体、FPD製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・耐摩耗部品(製紙用ロール・繊維用部品など) ・絶縁部品 ・静電チャック ・半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置 など 【メッセージ】 フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。 セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございましたらお気軽にご連絡ください。 ※製品の詳細はカタログをご覧ください
溶射加工の事例です。
・繊維機械 ・製紙機械 ・印刷機械 ・石油化学プラント ・プラスチック製造機械 ・フィルム製造機械 ・ゴム製造機械 ・窯業・土石製品製造機械 ・製鉄機械 ・製缶機械 ・電線・ケーブル伸線機械 ・金属製品製造 ・汎用器械器具製造 ・蒸気機関・タービン・水力発電装置 ・ポンプ・圧縮機器製造機械 ・食品機械 ・紙・パルプ機械 ・フィルムコンバーティング機械 ・工作機械 ・半導体製造装置 ・ポンプ機械 ・電子機械 ・発電機械 ・内燃機関 ・プラスチック加工機械 ・自動車 ・船舶 ・航空機 ・産業用車両 ・工業用ポンプ ・生産用機械器具 ・一般産業用機械・装置 ・各種製造機械
装置内で部品(カバーリング、石英への溶射、シャワープレート)が、プラズマにより損傷を受け劣化したものを解決した事例を紹介!
半導体・液晶業界では、ICチップや液晶パネルの製造ラインなど クリーンな環境で製造しています。 その様な環境下で製造装置は、絶縁性や耐プラズマ性などが要求されます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 装置内で部品(カバーリング、石英への溶射、シャワープレート)が、 プラズマにより損傷を受け劣化した ■提案 耐プラズマ性や、コンタミ防止などの効果のあるコーティングを提案 ■効果 損傷を受けたり部品の寿命が延び、コーティングが何度も再生可能になった 部品を新品で購入する費用が抑えられ大変喜ばれた
環境、福祉、情報、エネルギー…未来領域でもセラミックコーティング
セラミックスを溶射材料とする表面改質法は、保護性能に加えて、絶縁性・電導性・センサー性など、 「常識破りの機能性能」が発見・創造されて、 超電導・宇宙など未来領域でも不可欠な技術になっています。 【特長】 ○ロケット →ローカイド溶射は気孔率が高く、熱衝撃を緩和し驚異的な耐熱性能を生み出す ○深海探査艇 →セラミックコーティングで、最大潜行深度2000mを500回を超える潜水記録を打ち立てた ○燃料電池 →固体電解質型燃料電池では、セラミックスであるジルコニアを溶射した発電素子が使われている ○高温超電導 →すでに90°K(絶対温度)レベルの超伝導素材を溶射で作り上げた ○半導体製造装置 →セラミックスを装置自体にコーティング。あってはならない汚染を防ぐ ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお問合せ下さい。
NCIが進化させつづけた「つねに新鮮な」セラミック皮膜。
日本コーティング工業は、宇宙工学から生まれたセラミック溶射技術を育って半世紀。 セラミックの持つ耐熱・断熱・耐食・耐摩耗・電気絶縁・非粘着等の特性を益々高度化する機械設備の機能向上に、フリーメンテナンス化にお役立てください。 溶射は部品の再生と機能付与とを同時に行なえる表面改質技術です。 この再生と機能付与こそ限りある資源の有効活用を支える基盤技術です。 御社の課題解決にぜひ日本コーティング工業の溶射技術をお役立てください。 【業務内容】 ○各種コーティングの施工及び加工並びに販売 ○前号に付帯関連する一切の業務 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
溶射技術の入門資料プレゼント
溶射とは、様々な材料をエネルギーによって加熱、加速させ、それを基材に吹き付けて体積膜を形成する技術です。 溶射によって得られる機能性 耐摩耗性 耐食性 耐熱性 遮熱性 絶縁性など アイシイエスなら 1、ご要望に応じた材料を選定 2、最適なプロセスでご提案 3、徹底した品質管理 4、高品質膜な溶射コーティングのご提供 致します。
溶射・表面処理のことなら倉敷ボーリング機工株式会社へお任せください!
倉敷ボーリング機工では、溶射だけでなく前後処理(ブラスト処理、切削、研削、等)までを一貫体制で行い、短納期、高品質を実現しています。 【倉敷ボーリング機工 溶射の特長】 ■溶射だけでなく前後処理まで一貫体制 ■短納期、高品質を実現 ■13,000mm、重量50tまでの大型部材や複雑形状品も加工可能 ■研究開発スタッフによる特殊機能性を目的とした新規溶射皮膜設計 ■ISO9001に基づき、品質管理を徹底し、信頼性の高い溶射皮膜を提供 <溶射とは> 「溶かして射つ」 コーティングに用いる材料を加熱・溶融し、対象とする部材の表面に吹き付けてコーティング層(=皮膜)を形成する表面処理技術です。 産業用各種ロール、ガスタービン、エンジン部品、半導体製造装置への機能性溶射皮膜の形成など 現代社会において必要不可欠な技術です。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。