現像装置
独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現！メンテナンス性に優れる現像装置のご紹介
当製品は、露光処理後のパターニング現像装置です。 当社独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現。スリップしづらい 搬送ロールを採用していますので、製品蛇行等によるレジストへのダメージを 軽減します。 また、現像チャンバーの蓋が大きく開口しますので、メンテナンス性に 優れています。 【特長】 ■均一な現像処理が可能 ■スリップしづらい搬送ロールを採用 ■製品蛇行等によるレジストへのダメージを軽減 ■高いメンテナンス性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社トーア電子
- 価格：応相談
