ウエハBG・テラス検査機
オートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します
ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業:株式会社アイティ・テック
- 価格:応相談
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オートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します
ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
FPDパネル検査を1μmずつ読みとる目視検査とモニター検査ができ検査機。
FPDパネル検査用の顕微鏡です。 ガラスステージ上にパネルを載せて手元ハンドルでXYにスライド移動と微動ハンドルで位置決めできます。 デジタルカウンタで移動量を1μmで読取、目視検査とモニター検査ができ検査画像のファイルもできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。