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湿式分級装置 S-100W-Dによる 分級精度確認 個数レベルで粗粒子を除去 パス品粒子径測定
■ 実験粒子の分布 4μｍのため 粗粒子のカットラインを 5μｍに設定 分級用篩 スーパーマイクロシーブは Φ5.0μｍを取付 ■ FPIA-3000 画像解析結果 測定個数……0 / 148 000 最大粒子径 4.27μｍ ５μｍ以上の粗粒子は全く混入してない ■ 通常 分級後パス品の画像解析は測定数 ２０～３０万個×１０回を 目安に 分級精度の信頼性を検証している
湿式分級装置 S-100W-Ｄによる 分級精度確認 個数レベルで粗粒子を除去 実験粒子事前測定
■ 画像解析サンプル準備 今回のサンプルは分布中心が４μｍの 真球状のアクリル粒子を使用 （楕円形の粒子は精度が悪い） ■ 分級装置の精度を確認するため Φ７μｍ前後のアクリル粒子を 分級精度確認のため 微量実験粒子に添加 ■ 分級実験に使用する粒子径は ５μｍ以上を 『粗粒子』 と仮定 事前に混入粒子径を FPIA-3000装置で画像解析 ■ FPIA-3000 画像解析結果 最大径 7.5μｍの粗粒子を確認 ５μｍ以上の粒子が 混入比 8/ 18 500個 確認
