【資料】真空集中排気システム『VIE-system』
真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社ベック
- 価格：応相談
