更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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真空ポンプ TEZ8
●オイルカートリッジ式でオイル交換が容易 ●オイル進入・逆流を防止するモニターチューブ ストレーナ内蔵モニターチューブにより、真空ポンプオイルの逆流及び進入を防ぐとともに、真空ポンプ内に圧力が加わった時のオイル噴出も防止。 ●ストレーナ内蔵モニターチューブ ゴミの進入を監視できる透明のモニターチューブに、スラッジなどのゴミの進入を防止するストレーナを内蔵。 ●小型・軽量 ●高速ターボファン 高速ターボファンの採用で冷却効率がよく、高温の場所でも威力を発揮。
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラインナップ】 ○PKS-016 ○PKS-030 ○PKS-070 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。
【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により10％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応。
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
低真空領域を対象とした一般産業用真空ポンプ。全モデルCEマーク取得！
当社のロータリーベーン方式エルモ・リーチェリー真空ポンプ『V-シリーズ』は、 世界の産業用途の隅々で使用されて続けた長年の実績がございます。 使用されます真空領域により、「オイル循環式」と「オイルフリー・ドライ式」の2タイプがございます。 ＜オイル循環式＞ ・アルミ合金製ブレードを採用し、耐久性UP。 ・オイルリターン回路を標準装備しており、長時間の連続運転が可能です。 ・対象真空領域：0.5～200mbar程度 <オイルフリー・ドライ式＞ ・カーボンブレード採用 ・対象領域：200mbar~大気圧 【オイル循環式ロータリーベーンポンプ 特長】 ■低騒音・低振動：モーター接続はカップリングを採用し低振動 ■ガスバラスト弁を装備(V-VGD、V-VCBはオプション) ■オイルミストの排出を低減：オイルミストセパレータを標準装備 ■省メンテナンス性：オイルミストセパレータの交換が容易に出来る ■全モデルCEマーク取得 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
