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真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
