連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【概略仕様】 ○型式：EVS-25 ○リザーバ容積（３台）：各500L ○リザーバ寸法：約φ600 * 1800H ○リザーバ材質：樹脂 ○対象チャンバ容積（推奨）：100L以下 ○バルブユニット：KF25 真空バルブ ○コントロールボックス：PLC＋圧力計 ○到達可能圧力：約1kPa（7.6Torr）（リザーバの圧力が十分低い場合） ○排気時間：約10秒（スロー排気を行わない場合） ※大容積のリザーバおよびリザーバ材質の変更もお見積りいたします ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【対象】 ○真空ポンプのアイドリングによる電力ロスが多い装置、 粗引き時間の短縮が生産性の向上に寄与する装置、 大気～真空を繰り返す装置 →ロードロック室の排気 →バッチ式真空成膜装置の粗引きライン →真空包装、真空脱泡、真空成型、真空ガス置換、真空乾燥など ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
有限会社ベックは、真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気する「エコバックシステム」、「ゴム手袋の手袋装着機」、高効率の真空引きシステム「真空サーバー」などを取り扱っている会社です。 当社は、真空装置の節電・生産性向上に貢献します。
