ドライ真空ポンプ『SDEシリーズ』
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDEシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 独自のスクリュー形状で省エネを実現(X) 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD
真空ポンプ(樫山) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
真空ポンプの製品一覧
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ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
New! ドライ真空ポンプ『MUシリーズ』
エッチングなどのミディアムプロセスにおいて世界NO.1の低消費電力を実現！ 新しい外観デザインでNewリリース
プロセス耐性と省エネ性能がさらに進化！ 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■世界最小クラスの省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『MU-PE/HEシリーズ』
- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能
『MU-PE/HE シリーズ』は、軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能な ルーツ型ドライ真空ポンプです。 HOT-N2パージを搭載したMU-HEシリーズ (※オプション対応) 【仕様】 ■プロセス耐性 ■消費電力0.6kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『MU-XE シリーズ』
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
【デモ機貸出可能】空冷式ドライ真空ポンプNeoDry-Gシリーズ
メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新！ NeoDry-Gシリーズ
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！ NeoDry-Eシリーズと比較しデザインを一新、静音性能、水蒸気処理能力がパワーアップしたGシリーズをリリース！ 【特徴】 〇100V/200Vどちらでも使用できるワイド電源仕様 〇静音化 〇水蒸気処理量アップ！ 〇IEC電源コネクタ採用！ 〇高調波規格標準対応！ 〇シリアル通信機能装備！ ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
New！ドライ真空ポンプ『SDシリーズ』
プロセス耐性に優れたドライ真空ポンプ！ 新しい外観デザインでNewリリース
独自形状の竪型スクリュー 特殊材料による高い耐食性と豊富な温度バリエーションにより幅広いプロセスへの対応を実現 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
【デモ機貸出可能】空冷式ドライ真空ポンプNeoDry-Eシリーズ
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
定期メンテナンスは6年に一度のメンテナンスサイクルを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない 〇ロータリーポンプのような 油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し ○空冷方式を採用 冷却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
真空ポンプメンテナンス（ドライポンプ）
ドライポンプの保守,修理を行います
千代田交易株式会社では、各メーカー製ドライポンプ O/H、修理、中古機販売等 各種保守サービスに対応しております。 メーカー保守期間が終了した旧型モデル修理にも対応することで、生産設備の延命を図り地球環境保全に貢献いたします。 また、緊急対応や長寿命化のようなさまざまなニーズに対応いたします。
- 企業：千代田交易株式会社
- 価格：応相談
真空ポンプオーバーホール
コスト削減にオーバーホールをご検討ください！荏原、Edwardsなど各メーカーのドライ／ロータリーポンプに対応します！
ポンプ本体の分解や洗浄はもちろん、不具合箇所の修理やパーツの交換、組み立て試験まで、長年のノウハウを持つ技術者が丁寧にメンテナンスを行います。 標準交換部品はベアリング、Oリング、オイルなどメーカーの標準交換部品に準拠した部品を全数交換。 特別交換部品や追加作業が発生した場合はお客様へご連絡し、ご了解いただいた上での作業再開となりますので、ご安心ください。 ■納期 標準納期は1ヶ月（弊社着後、出荷まで）を基準としております。 なお、特別交換部品等の入荷に時間を要する場合は逐次ご連絡致します。 お急ぎの場合は1～2週間での対応も承りますので、お気軽にご相談ください。 ■主な試験、検査項目 1．共通項目（報告書記載） 到達圧力、電流値、リークチェック合否 2．共通項目（社内管理記録） 排気閉塞加速試験 3．特殊項目（報告書記載） 45～60Hz能力（エドDP）、排気能力（エドMBP） 4．その他（社内保管記録） 各センサ動作、振動、流量、連続運転など
- 企業：株式会社ピーエムティー 本社・工場
- 価格：応相談
水封式真空ポンプ LEH/LEMシリーズ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロードください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
