あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ラインアップ】 ■SDE120TX ■SDE303TX ■SDE603TX ■SDE1203TX ■SDE20M12TX ■SDE30M12TX ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
1946年に創立以来、樫山工業は、「お客様第一」をモットーに 時代時代のさまざまなニーズに応えながら事業領域の幅を拡げ 着実に進化してきました。 特にポンプに関しては、流体の研究・技術をベースに現代産業の 最先端分野を支えている真空技術を極め、半導体業界中心に あらゆる先端分野に真空ポンプ、真空機器を送り出しています。 また、国産では初のスノーマシンを開発。 スキー場関係者から絶大なる評価を獲得することができました。 さらに獲得した信頼に、より一層応えていくために、 スキー場のリニューアル、新規オープンに際し 企画から開発、運営まで、総合的なお手伝いで スキーリゾート業界の発展に貢献しています。 技術力、企画力、生産能力、そして全社一丸となって ニーズを具現化する機動力。 言うなれば、企業の体力とも呼べるそうしたパワーを、 私たちは絶えず蓄積し、磨いています。 樫山工業はこれからも、お客様第一主義をモットーに 柔軟な発想で、ますます高度化、多様化するニーズに応えていきます。 お気軽にお問い合わせ下さい。