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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
一段式で二段式と同等の4kPaの真空性能を実現。新開発の省水機構で従来モデルから補給水量を30％削減
一段式液封式真空ポンプ『HVSD』は、 優れた真空性能に加え、補給水の削減も実現した新製品です。 高真空でもキャビテーションを抑制し、 騒音の発生を防ぎ、部品の長寿命化にも貢献します。 【特長】 ■空気エジェクタなしで4kPaの高真空運転を実現 ■当社従来モデルから30％の補給水量の削減を実現 ■工場のSDGs対策に貢献 ■運転の安定性が向上 ※詳細は「PDFダウンロード」より、カタログをご覧ください。
独自のバルブレス構造により、食品などのスケールが溜まりにくく高真空を維持！欧州CEマーク標準（米国UL 中国GBマークにも対応）
スペック社 水封式真空ポンプ【ＶGシリーズ 】は独自のバルブレス構造により、ポンプヘッド前面のデッドスペースを無くし、食品などのスケールが溜まりにくいを実現しました。 食品メーカーをはじめ、不純物が真空ポンプ内に溜まる事で生じるトラブルにお困りのお客様に最適な真空ポンプです。 またスペックポンプは欧州CEマーク標準（アメリカULマーク 中国GBマークにも対応）です。その他にはRoHS対応もしています。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
