消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○省エネ対策に大きく貢献 →ドライポンプの発熱を抑える効果もあり空調機器の電力削減が可能 →ECO-SHOCKの運転には65Wの電力のみで、N2 や冷却水は不要 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 →多段ルーツ型で大きな効果を発揮 →1000Pa以下の連続運転時間が多い用途での効果大 ○ドライポンプの性能を改善 →到達圧力性能の向上が期待可能 →排気の騒音を低減可能 →全圧力領域にて排気速度の低下無し ○ユーザフレンドリー →排気配管にバルブユニットを取り付けることにより設置が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○スパッタ、蒸着装置などのターボ分子ポンプの 粗引き排気用ドライポンプの省エネ対策 ○仕込取出室排気用ドライポンプの省エネ対策 ○真空オーブン、真空乾燥器などの排気用ドライポンプの省エネ ○真空ラミネータ、真空パックなどの排気用ドライポンプの省エネ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。