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より高い平坦性、ダメージフリー、重金属汚染フリーなど完全鏡面の要求にお応え！
『GLANZOX』は、コロイダルシリカを特殊組成液に分散させ優れた研磨面の実現を可能にしました。 近年、デバイス特性に影響する金属不純物についても厳しい低減要求がなされています。これに対し超高純度コロイダルシリカを開発。 ウェーファー端面を鏡面に仕上げる専用のポリシング材「GLANZOX Eシリーズ」などをご用意しております。 【特長】 ■コロイダルシリカを特殊組成液に分散 ■優れた研磨面の実現を可能に ■超高純度コロイダルシリカを開発 ■次元の高いポリシング材をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
銅・アルミニウム・ステンレス・チタニウムなどの一般金属向け！
鏡面仕上げ材『CLEALITE』は、一般金属向け鏡面仕上げ材です。 “2340”は特殊組成液とともにメカノケミカルポリシング作用にて、10nm（Rmax）の表面粗さとスクラッチフリーの表面に仕上げることが可能なポリシングスラリーです。 “S”は分散性の良いシリカパウダーをベースに、選択加工を抑制する組成液をバランスよく配合した金属材料専用のファイナルポリシングスラリーと開発されました。 【注目ポイント】 ■銅・アルミニウム・ステンレス・チタニウムなど一般金属に ■【Type“2340”】 ・平均粒子径･SEM：15.0 ・pH：10.0 ・比重：1.210 ■【Type“S”】 ・平均粒子径･SEM：72.0 ・pH：8.8 ・比重：1.200 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
