光学膜厚測定システム『DF-1045R1』
多層膜解析などの様々な膜解析アプリケーションに対応!
光学膜厚測定システム『DF-1045R1』は、反射率スペクトル測定光学系と スペクトル解析ソフトウエアの連携により、薄膜の膜厚・光学定数を 簡便に測定することができる分光システムです。 小型CCD分光器の採用により、省スペース、高速スペクトル測定を実現しました。 柔軟で高機能なスペクトル解析ソフトウエアSCOUTを搭載しているため、 多層膜解析などの様々な膜解析アプリケーションに対応します。 【特長】 ■反射率スペクトル測定機能をデスクトップサイズに凝縮 ■平行光束による入射角0°の反射率スペクトル測定を実現 ■スペクトル解析ソフトウエアSCOUTによる単層膜、 多層膜の膜厚・屈折率測定など様々な膜解析に対応 ■反射率スペクトル測定からフィッティング解析までのシークエンスを簡単操作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:有限会社テクノ・シナジー
- 価格:応相談