膜厚測定装置(エリプソメーター)
小型・低価格・高精度・使い易さを追求して開発されたエリプソメーター
レーザー光による偏光解析法を用いて、シリコンやガラス基板の光学特性や、基板上の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率など)を非接触・高精度に測定します。
- 企業:ハイソル株式会社
- 価格:応相談
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小型・低価格・高精度・使い易さを追求して開発されたエリプソメーター
レーザー光による偏光解析法を用いて、シリコンやガラス基板の光学特性や、基板上の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率など)を非接触・高精度に測定します。