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レーザーエリプソメーター
最終更新日：2018年05月02日
レーザー光による偏光解析法を用いて、シリコンやガラス基板の光学特性や、基板上の薄膜の膜厚や光学特性（屈折率など）を非接触・高精度に測定します。
膜厚測定装置（エリプソメーター）
ご要望をお伺いし、最適なソリューションで対応させて頂きます。
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