完全自動化ダイシング装置『7220シリーズ』
開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性アップ！
『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する 高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。 【特長】 ■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業 ■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合わせ ■ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮 ■噴霧式ウエハ洗浄技術ですばらしいプロセスの成績を残す ■組込み済みの検査トレーでプロセス中の品質評価を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本技術産業株式会社
- 価格：応相談
