開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性アップ！
『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する 高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。 【特長】 ■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業 ■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合わせ ■ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮 ■噴霧式ウエハ洗浄技術ですばらしいプロセスの成績を残す ■組込み済みの検査トレーでプロセス中の品質評価を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■7222 ・2"エアベアリングスピンドル、60krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・2"-3"ハブと環状ブレードと互換 ・8"までの円形製品に対応 ■7223 ・2"高出力（2.4KW）エアベアリングスピンドル、60krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・2"-3"ハブと環状ブレードと212mm×142mmまでの矩形製品に対応 ■7224 ・4"高出力（2.5KW）エアベアリングスピンドル、30krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・4"と5"ハブの環状ブレードと互換 ・8"までの製品に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【適合製品】 ■7222 ・Silicon wafers、SAW filter、Thin-film devices、Glass wafers,IR filter、High-brightness LED package ■7223 ・package(QFN,BGA)、Ceramic LEDpackage、Quartz、PCB ■7224 ・厚くて硬い材料（Ceramic substrate、Hybrid、Alumina） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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