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高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置
『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板 表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。 センサ自動焦点機構で、高精度な表裏分離を可能にしています。 対応基板サイズは、最大200mm×200mmです。 200mm以上をご希望の場合は、ご相談下さい。 【特長】 ■自動搬送 ■高精度な表裏分離 ■高性能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
ニーズにお応えする基板異物検査装置
「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。 【特長】 ■従来にない高速、高精度、低価格 ■省スペース ■測定時間短縮 など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
