高アスペクト比通し穴微細加工
高アスペクト比通し穴微細加工
デリケートで加工の難しいシリコンウェハーに対し、レーザーでならストレスレス加工が出来ます。 この例ではt0.6mmの標準ウェハーに、THG−YAGを用いて高アスペクトの穿孔加工をしました。
- 企業:株式会社リプス・ワークス
- 価格:応相談
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高アスペクト比通し穴微細加工
デリケートで加工の難しいシリコンウェハーに対し、レーザーでならストレスレス加工が出来ます。 この例ではt0.6mmの標準ウェハーに、THG−YAGを用いて高アスペクトの穿孔加工をしました。