ウェハ端面鏡面加工装置（エッジポリッシュ）
スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置（エッジポリッシュ）
■装置概要 スラリーや長い研磨ベルトを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う端面研磨装置（エッジポリッシャー） スラリー不使用・長い研磨ベルト不使用により省メンテナンス・省スペース・シンプルな機構を実現 ■用途例 鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄 ■対象物 ・薄い材料150～200μに好適 ・各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは対応不可) 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。
- 企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
- 価格：応相談
